特許
J-GLOBAL ID：200903064374796538
ウエーハの収納方法とその収納容器及び該収納容器にウエーハを移載するウエーハ移載方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 昌久
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000004366
公開番号（公開出願番号）：WO2001-008210
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2001年02月01日
要約：
【要約】輸送中にパーティクルが発生したとしても、ウエーハ表面に該パーティクルが付着するのを極力防ぐことのできる発明の提供を目的として、鏡面研磨し、表面を洗浄乾燥後のウエーハを、上部開口が蓋体により密閉される収納容器本体に収納する収納容器への移載する際に、前記上部開口が上向き以外の向きになるように前記容器本体を配置した状態で、該上部開口より乾燥気体を供給して容器本体内を乾燥空気に置換し、次に前記乾燥空気の置換状態を維持したまま上部開口をウエーハ供給位置に対面させてウエーハを収納し、最後にウエーハ収納後の上部開口に蓋体を取り付けるウエーハ移載方法であって、前記工程がいずれも絶対水分濃度で2ppm以下の高清浄空気雰囲気下で行われる事を特徴とする。
請求項（抜粋）：
鏡面研磨し、表面を洗浄乾燥後のウエーハを、相対湿度が10%以下の高清浄乾燥気体が充填された気密空間で保管することを特徴とするウエーハの収納方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 T
, H01L 21/68 A
, B65D 85/38 R
