部品の位置測定方法と部位の位置決め方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-132568
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323808
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】使用するレンズの焦点深度や、使用する光学系あるいは振動やノイズ等により影響されずに、高い精度で部品の位置の測定および部品の位置決めが行える、部品の位置測定方法と部品位置決め方法を提供すること。【構成】部品8を移動しながら部品8の画像をレンズ14を介して取り込んで、部品8のフォーカスピーク位置を含むフォーカスデータ曲線FDCを得て、フォーカスデータ曲線FDCを一定の値毎に複数の分割線(例えばD1,Dn)により分割する。各分割線とフォーカスデータ曲線FDCとが交わる第1点(例えばV11)と第2点(例えばV12)を得て、第1点と第2点の中点データ(例えばM1)を得る。各分割線毎に得られた複数の中点データを直線近似して直線LIを得て、直線LIの傾きから各中点データに重み付けを行い、重み付けを行った各中点データ(例えばMW1)の平均を求めて、フォーカスデータ曲線FDCにおける部品のフォーカス位置FPを求める。

請求項（抜粋）：

部品の位置をフォーカス位置により測定する部品の位置測定方法であって、上記部品を移動しながら上記部品の画像をレンズを介して取り込んで、上記部品のフォーカスピーク位置を含むフォーカスデータ曲線を得て、上記フォーカスデータ曲線を一定の値毎に複数の分割線により分割して、上記各分割線と上記フォーカスデータ曲線とが交わる第1点と第2点を得て、これらの第1点と第2点の中点データを得て、上記各分割線毎に得られた複数の上記中点データを直線近似して直線を得て、上記直線の傾きから上記各中点データに重み付けを行い、重み付けを行った上記各中点データの平均を求めて、上記フォーカスデータ曲線における上記部品のフォーカス位置を求めることを特徴とする、部品の位置測定方法。

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