石英ガラスルツボの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：穂上照忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-272761
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116374
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】内層が高純度の合成石英を原料とするガラス、外層が安価でかつ軟化し難い天然石英を原料とするガラスからなる二層構造のルツボを、割れや変形を生じさせることなく製造する。【課題手段】回転アーク溶融法により内外二層からなる石英ガラスルツボを製造するに際して、?@外層の原料5としては天然石英を熱処理して得たクリストバライト粉を使用し、内層の原料4としては非晶質合成石英を熱処理して結晶化させた合成クリストバライト粉を使用するか、または?A外層の原料5として天然石英をガラス化して粉砕した非晶質粉を使用し、内層の原料4としては非晶質合成石英粉を使用する。更に、外層原料および内層原料の型内の充填密度をそれぞれ 1.30g/cm3以上、両充填密度の差を 0.10g/cm3以下とする。

請求項（抜粋）：

回転アーク溶融法によって内外二層からなる石英ガラスルツボを製造する方法であって、外層の原料としては天然石英を熱処理して得たクリストバライト粉を使用し、内層の原料としては非晶質合成石英を熱処理して結晶化させた合成クリストバライト粉を使用すること、ならびに回転アーク溶融法における型内の外層用料層および内層用原料層の充填密度をそれぞれ 1.30g/cm3以上、両充填密度の差を 0.10g/cm3以下とすることを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。

IPC (3件)：

C30B 15/10 , C03B 19/09 , C03B 20/00

FI (3件)：

C30B 15/10 , C03B 19/09 , C03B 20/00

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