特許

J-GLOBAL ID：200903064393002356

二重反射電子顕微鏡

発明者： クルツィシュトフ、グルツェラコウスキィ
出願人/特許権者： フォクス、ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： ▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-327990
公開番号（公開出願番号）：特開平9-171793
出願日： 1996年11月25日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：

【要約】【課題】 1次電子ビームを試料上に簡単な方法で集束させることができ、装置を大規模に変えることなく様々なモードで分析を行える電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 電子顕微鏡は、電子源14と、少なくとも1つの対物レンズ4と投射レンズ6,7を含む電子光学結像システムと、蛍光スクリーン9及び/又は電子増倍管8を含む検出器を備え、電子反射器15が、上記対物レンズの後側焦点面10(又はその共役面12)に設けられ、上記電子源から生じる1次電子ビーム20が、分析される試料3に集束するように調整されている。電子反射器のチップ16は単結晶又は多結晶材料から作製できる。

請求項（抜粋）：

電子源と、少なくとも1つの対物レンズと少なくとも1つの投射レンズを含む電子光学結像システムと、蛍光スクリーン及び/又は電子増倍管を含む検出器を備えた電子顕微鏡において、少なくとも1つの電子反射器(15)が、上記対物レンズ(4)の後側焦点面(10)又はその一つの共役面(12)に設けられ、かつ、上記電子源(14)から生じる1次電子ビーム(20)が分析される試料(3)に集束するように調整されていることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/29 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/244

FI (3件)：

H01J 37/29 ,  H01J 37/04 Z ,  H01J 37/244