特許
J-GLOBAL ID：200903064398216265
半導体装置のテスト装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-025205
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242177
出願日： 1993年02月15日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 半導体装置テスト時の半導体装置の損傷を防止するとともに、半導体装置テスト時の作業性及び信頼性の向上を可能にした。【構成】 半導体装置のテスト装置は、半導体装置搭載面11a,12aを有する第1電極11及び第2電極と、この第1電極11及び第2電極12の下側に配置され、第2電極と上方からコンタクトするためのコンタクトポイント13a及び13bを有し、かつ第1電極11と第2電極12とを絶縁した状態に保持する電極ホルダー13と、この電極ホルダー13の下側に配置され、第1電極11と上方からコンタクトするためのコンタクトポイント14a及び14bを有する下部導体14と、半導体装置5の表面、電極ホルダー13のコンタクトポイント13a,13b及び下部導体14のコンタクトポイント14a,14bとコンタクトするためのコンタクトプローブピンを複数組備えている。
請求項（抜粋）：
裏面に共通電極を有する半導体装置の電気的特性の検査工程に使用される半導体装置のテスト装置において、前記半導体装置を搭載するための半導体装置搭載面を有する第1電極及び第2電極と、この第1電極及び第2電極の下側に配置され、前記第2電極とコンタクトするためのコンタクトポイントを有し、かつ、前記第1電極と第2電極とを絶縁した状態で保持する電極ホルダーと、この電極ホルダーの下側に配置され、前記第1電極とコンタクトするためのコンタクトポイントを有する下部導体とを含む下電極ユニットと、前記第1電極及び前記第2電極の上方に配置され、前記半導体装置の表面、前記電極ホルダーのコンタクトポイント及び前記下部導体のコンタクトポイントと上方からコンタクトするための複数組のコンタクトプローブピンを有するコンタクトユニットと、を備えたことを特徴とする半導体装置のテスト装置。
IPC (2件)：
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