特許
J-GLOBAL ID：200903064400112723
変位量測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-257681
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109422
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】 本発明は変位量測定装置に関し、その目的は、光路長が長い測定における外乱の影響を除去して測定精度を高めることができる変位量測定装置を提供することにある。【構成】 コヒーレント光を参照光と被測定体6に照射する信号光に分岐して参照光と被測定体から反射した信号光を干渉させ、該干渉信号の強度変化に基づいて変位量を測定する変位量測定装置において、前記被測定体6に照射する信号光を所定の周波数で変調する変調器21と、該変調器21で変調する周波数で前記干渉信号を同期検波する同期検波回路24を設けたもの。
請求項（抜粋）：
コヒーレント光を参照光と被測定体に照射する信号光に分岐して参照光と被測定体から反射した信号光を干渉させ、該干渉信号の強度変化に基づいて変位量を測定する変位量測定装置において、前記被測定体に照射する信号光を所定の周波数で変調する変調器と、該変調器で変調する周波数で前記干渉信号を同期検波する同期検波回路、を設けたことを特徴とする変位量測定装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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