特許

J-GLOBAL ID：200903064409020449

基板保持具

発明者： 飯田 秀和
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンエナジー
代理人 (1件)： 荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077974
公開番号（公開出願番号）：特開平6-286869
出願日： 1993年04月05日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：

【要約】【目的】 表面の清浄な基板(ウェハ)を効率よく得ることができるとともに、洗浄液等の交換サイクルの長期化も図ることのできる基板保持具を提供する。【構成】 基板保持具2は、脚部20,20間に枠材25,25,26,26が上下に2本ずつ渡されており、ウェハ1を鉛直姿勢となるように保持できる。上段の枠材25,25はウェハ1の両側部を支持し、また下段の枠材26,26はウェハ1の斜め下部を支持する。枠材25,26には、ウェハ1の外周縁を差し込む溝27,28が夫々形成されている。溝27,28とウェハ1との間に溜り得る水滴などを速やかに除去するために、溝27,28の底には、溝27,28に連通するとともに、下方又は斜め下方に臨んで開口する逃げ部29が形成されている。【効果】 清浄なウェハが得られるのに加えて、経済的効果が大である。乾燥に要する時間を短縮することができ、製造効率が向上する。

請求項（抜粋）：

薄板状の基板を液体中に浸漬させる際に用いられ、前記基板を上方から挿脱可能であるとともに鉛直姿勢に保持可能な保持具であって、基板の下半部における外周縁に接触可能な少なくとも3本の棒状の枠材が基板に直交する方向に延在して設けられ、それら各枠材の基板との接触箇所には、基板の外周縁を差し込むV字状の溝が形成されていることを特徴とする基板保持具。

IPC (4件)：

B65G 49/07 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/68