特許

J-GLOBAL ID：200903064410536785

クランプリング

発明者： 鏑木 光広
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-130232
公開番号（公開出願番号）：特開平8-325730
出願日： 1995年05月29日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：

【要約】【目的】 ウエハとの接触面積を小さくすることのできるクランプリングを提供すること。【構成】 本発明によるクランプリング14は、ウエハ24の外周縁32をウエハ支持体14に押し付けて固定するものであって、ウエハ24の外周縁32に接する面を、上方ほど小径となるテーパ面28としたものであり、これによりクランプリング14とウエハ24との接触は線接触となる。また、この線接触の部分よりも内側の部分は、ウエハとの接触部分36を、スパッタされた粒子等から保護するよう機能する。さらに、上記テーパ面28に複数の溝部38を周方向に所定の間隔で形成したクランプリング14においては、クランプリング14とウエハ24との接触は不連続な線接触となる。

請求項（抜粋）：

ウエハの外周縁をウエハ支持体に対して押し付けて固定するクランプリングにおいて、ウエハをクランプする面を上方ほど小径となるテーパ面としたことを特徴とするクランプリング。

IPC (4件)：

C23C 14/50 ,  B23Q 3/06 301 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

C23C 14/50 D ,  B23Q 3/06 301 J ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/68 N