特許

J-GLOBAL ID：200903064419986724

角速度・加速度センサの梁構造

発明者： 山下 光洋 ,  岡内 亨
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-196072
公開番号（公開出願番号）：特開2002-013931
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】 外乱に強く高感度な加速度・角速度センサの梁構造が望まれていた。【解決手段】 両端支持の環状板バネ形式の駆動梁の屈曲頭頂部を連結して駆動振動モード以外の検出モードを抑制し、大振幅駆動時の振動の直線性を向上させる。また、渦巻き状に板バネを回転対称配置して検出梁とすることで、検出軸以外の外乱感度を低下させる。

請求項（抜粋）：

一個の錘からなる音片型角速度センサにおいて、駆動梁は前記錘を駆動方向の一端から支持する第一の梁部と、反対側の一端から支持する第二の梁部、さらに前記第一と第二の梁部を連結する第三の連結部から構成され、前記第一及び第二の梁部は駆動方向と垂直な板バネの組み合わせにより駆動方向と垂直な方向に凸な屈曲部を各々二カ所ずつ有し環状に構成され、かつ前記第三の連結部は前記第一及び第二の梁部の屈曲頭頂部を連結することを特徴とする角速度センサの駆動梁構造。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (17件)：

2F105AA02 ,  2F105BB02 ,  2F105BB13 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA09 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA13