特許
J-GLOBAL ID：200903064421475028
磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-082590
公開番号（公開出願番号）：特開2001-266317
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：
【要約】【課題】磁気力顕微鏡を利用して、測定対象の記録ヘッドから高周波の磁界を発生させて磁気力を測定する方式において、高周波応答で、高感度かつ高分解能の測定を実現した磁気記録ヘッド測定装置を提供することにある。【解決手段】磁気力顕微鏡を利用して、磁気記録ヘッド3の磁気力に関係する力又は力勾配を測定するための磁気記録ヘッド測定装置が開示されている。本装置は、電流モニタ17から試料3に対して振幅変調された信号電流を印加して、振幅変調された高周波磁界を発生させる。スイッチ8は、カンチレバー2に搭載されている探針1に作用する力像を測定する力測定系9と、力勾配像を測定する力勾配測定系10,11のいずれかを選択的に機能させる。コンピュータ18は、各測定系殻の測定結果に基づいて、記録ヘッド3の高周波磁界による力像又は力勾配像を測定する。
請求項（抜粋）：
磁気力顕微鏡を利用した磁気記録ヘッド測定装置であって、測定対象の磁気記録ヘッドである試料に対して振幅変調された信号電流を印加して、当該試料から振幅変調された磁界を発生させるための磁界発生手段と、一定振動振幅を与えられているカンチレバー部材に搭載されて、前記試料に対して非接触状態で走査する探針部材と、前記試料からの磁界により前記探針部材に作用する力と力勾配のいずれかを選択的に測定する測定手段とを具備したことを特徴とする磁気記録ヘッド測定装置。
引用文献：
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