特許

J-GLOBAL ID：200903064444537365

金属酸化物薄膜形成基材の製造法

発明者： 日高 敏雄 ,  川上 殷正 ,  牧之瀬 暁
出願人/特許権者： 三菱瓦斯化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-206408
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339742
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：

【要約】【目的】 Mg, Mn, Pbほかの金属酸化物薄膜形成基材を提供する。【構成】 基材と Mg, Sr, Ba, Zn, Cd, In, Pb, Cr, Mn, Fe 及び Sn からなる群から選択した1種或いは2種以上の金属の酢酸塩およびパラジウムとを減圧下、 400°C以下で熱分解することを特徴とする金属酸化物薄膜形成基材の製造法

請求項（抜粋）：

基材と Mg, Sr, Ba, Zn, Cd, In, Pb, Cr, Mn, Fe 及び Snからなる群から選択した1種或いは2種以上の金属の酢酸塩およびパラジウムとを減圧下、 400°C以下で熱分解することを特徴とする金属酸化物薄膜形成基材の製造法