特許
J-GLOBAL ID：200903064448970888
多軸加速度センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安孫子 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-273755
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089927
出願日： 1995年09月28日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 同時に複数の軸における加速度及び角速度の検出が可能なセンサを提供する。【解決手段】 支持梁4aの第1の軸5の両端が枠状に形成された重り1aの開口部2の内壁7a,7bに接合される一方、第2の軸6の両端は、シリコン基板の上に固設された支持突起8に、それぞれ接合されており、重り1aは、加速度又は角速度に起因してX,Y,Z軸方向へ変位可能であると共に、X,Y軸を中心として回動による変位が可能となっている。そして、重り1aの変位は、重り1aの外周に突出形成された電極片9と、重り1aの周囲に設けられた各X電極10a〜10f及びY電極11a〜11f並びに重り1aの下面と対向するようにシリコン基板上に設けられたX軸角速度電極13a,13b及びY軸角速度電極14a,14bとの間の静電容量の変化として検出することができるようになっている。
請求項（抜粋）：
直交する第1の軸と第2の軸とを有してなる支持梁の前記第1の軸に重りを取り付ける一方、前記第2の軸と前記基板との間に間隙が生ずるように前記第2の軸を前記基板上に固設し、前記基板上において前記重りを変位自在に保持すると共に、前記重りの外周には複数の電極片を突設する一方、この電極片と平行する複数の電極片を有してなる電極を前記重りの周囲において前記基板上に固設し、前記重りの平面部分と対向する電極を前記基板上に固設し、前記重りの電極片と前記各電極との間の静電容量の変化により前記重りの変位を検知可能としてなることを特徴とする多軸加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
