特許
J-GLOBAL ID:200903064451751488
光束制御装置、干渉装置及び微分干渉顕微鏡装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 河野 哲
, 風間 鉄也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-235041
公開番号(公開出願番号):特開2004-077609
出願日: 2002年08月12日
公開日(公表日): 2004年03月11日
要約:
【課題】機械的な機構を必要とせずに、容易にシア量を精度良く連続的に変化させることができる光束制御装置、干渉装置及び微分干渉顕微鏡装置を提供する。【解決手段】分離部201は互いに平行な入射面と出射面をもつ偏光分離素子と分離側複屈折素子を有している。直線偏光の光束Iは偏光分離素子により光束O,Eに分離され分離側複屈折素子を通過後互いに平行になる。光束O,Eは観察物体5を介して重畳素子と重畳側複屈折素子を有する重畳部202を通過する。一方の光束に対する分離側及び重畳側複屈折素子の屈折率は分離側及び重畳側屈折率変化部214,215により電気的に変化させられる。制御部17は、所定のシア量Δが達成され重畳部202にて光束O,Eが重なり合うよう、分離側及び重畳側屈折率変化部214,215を制御する。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
互いに平行な入射面と出射面とを有していて、この入射面に入射した直線偏光の光束を、振動方向が互いに直交する2つの直線偏光の光束に分離する偏光分離素子と、
互いに平行な入射面と出射面とを有していて、この偏光分離素子にて分離された2つの直線偏光の光束が入射される電気光学部材と、
この電気光学部材に入射した2つの直線偏光の光束の一方に対する電気光学部材の屈折率を電気的に変化させて、電気光学部材から出射する、2つの直線偏光の光束の間隔と、これら2つの光束のなす角との少なくとも一方を変化させる屈折率変化手段と、
を備えていることを特徴とする光束制御装置。
IPC (9件):
G02F1/29
, G01B9/02
, G01B9/04
, G01J9/02
, G02B5/30
, G02B21/00
, G02B21/36
, G02B27/28
, G02F1/13
FI (9件):
G02F1/29
, G01B9/02
, G01B9/04
, G01J9/02
, G02B5/30
, G02B21/00
, G02B21/36
, G02B27/28 Z
, G02F1/13 505
Fターム (32件):
2F064AA15
, 2F064FF03
, 2F064GG21
, 2F064GG33
, 2F064GG68
, 2H049BA01
, 2H049BA05
, 2H049BA42
, 2H049BA47
, 2H049BB03
, 2H049BC23
, 2H052AA05
, 2H052AF14
, 2H052AF25
, 2H088EA45
, 2H088HA20
, 2H088HA23
, 2H088HA24
, 2H088HA28
, 2H088MA20
, 2H099AA00
, 2H099BA17
, 2H099CA05
, 2H099CA11
, 2H099DA00
, 2K002AA04
, 2K002AB06
, 2K002AB07
, 2K002BA06
, 2K002CA14
, 2K002DA14
, 2K002EA11
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