特許
J-GLOBAL ID：200903064458052305
ウェハ研摩装置および研摩終点判定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-248408
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106289
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 ウェハ上の被研摩膜の設定した研摩量をウェハ研摩装置や研摩クロス、あるいは研摩材などの変動による研摩速度の変化に影響されることなく研摩量を確保することができるウェハ研摩装置および研摩終点判定方法を提供する。【構成】 ウェハ1の研摩作業が行われる定盤2と、ウェハ1上の被研摩膜を研摩する液状の研摩材3と、前記研摩材3を保持する研摩クロス4と、ウェハ1を保持するウェハホルダ5と、研摩材3を供給するノズル6と、ウェハ1上の前記被研摩膜と同質の膜が形成され、かつ電気回路11が組み込まれた研摩終点判定モニタ7とから構成され、ウェハ1と研摩終点判定モニタ7のそれぞれの被研摩膜が同一の研摩クロス4上で、かつ同一の研摩条件によって研摩されるものであり、研摩終点判定モニタ7の被研摩膜において設定した研摩が終了すると、電気回路の抵抗値が変化し、この時点を研摩の終点とするものである。
請求項（抜粋）：
成膜後のウェハの被研摩膜を研摩するウェハ研摩装置であって、前記ウェハの研摩作業が行われる定盤と、前記ウェハ上の被研摩膜を研摩する研摩材と、前記研摩材を保持する研摩クロスと、前記ウェハを保持するウェハホルダと、研摩時に前記研摩材を供給するノズルと、前記ウェハ上の被研摩膜と同質の膜が形成される研摩終点判定モニタとから構成され、前記研摩終点判定モニタと前記ウェハとを同時に同一研摩クロス上で、かつ同一研摩条件によって研摩し、前記研摩終点判定モニタの設定研摩量の研摩が終了した時点で、前記ウェハ上の被研摩膜の研摩も終了するよう構成したことを特徴とするウェハ研摩装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, H01L 21/304
, B24B 37/04
