特許

J-GLOBAL ID：200903064458303758

半導体レーザの周波数安定化方法および周波数安定化半導体レーザ装置

発明者： 吉武 哲
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 井出 直孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-066388
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275787
出願日： 1992年03月24日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】 吸収セルに封入された物質の吸収線を基準として半導体レーザの発振周波数う制御する周波数安定化半導体レーザ装置において、発振周波数を吸収セルによる吸収線の真の中心周波数に高い精度で一致させる。【構成】 半導体レーザ1の発振周波数を掃引して吸収セル3の吸収率変化をあらかじめ求めておき、吸収セル3の入射光に含まれる振幅変調成分によって同期検波波形すなわち吸収スペクトラムの一次微分波形に生じる直流成分のうち吸収率変化による成分を考慮して半導体レーザの発振周波数を制御する。

請求項（抜粋）：

半導体レーザの発振周波数を周波数変調し、この周波数変調された前記半導体レーザの出力光を分岐して特定周波数の光を吸収する物質が封入された吸収セルに入射し、この吸収セルを透過した光を受光して同期検波し、この同期検波により得られた吸収スペクトルの一次微分波形にしたがって前記半導体レーザの発振周波数を制御する半導体レーザの周波数安定化方法において、周波数に対する前記吸収セルの吸収率変化をあらかじめ求めておき、前記吸収セルの入射光に含まれる振幅変調成分によって前記一次微分波形に生じる直流成分の前記吸収率変化による成分を補正して前記制御を行うことを特徴とする半導体レーザの周波数安定化方法。