配線パターン検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328500
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288738
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】プリント基板やホトマスク等における配線パターンの不良を検査に関するもので、簡便で信頼性の高い配線パターン検査装置を提供する。【構成】 2値化された画像を、デザインルール検査手段14では信号線の線幅など設計ルールに基づいた特徴情報の検出を行い、特定形状検出手段15では画像の輪郭位置にエッジの方向を表す方向コードを与え、方向コードの変化する点を特徴点として検出し、第2の比較判定手段18において、特定形状検出手段からの方向コードの変化位置とコードからなる特徴コードを入力し、任意の範囲内に対応する特徴コードと順次連結して特徴コード列を生成し、予め良品基板で生成した特徴コード記憶手段19からの特徴コード列とを特徴コード列単位で比較判定する。

請求項（抜粋）：

プリント基板を上方からの反射照明と下方からの透過照明で照明し、プリント基板の反射光と透過光を検知し光電変換する画像入力手段と、前記画像入力手段からの濃淡画像を2値画像に変換する2値化手段と、前記2値化手段からの2値画像からスルーホールを分離抽出しスルーホールを充填した画像を生成するとともに、パッドの座残り幅が不足する位置を検出するスルーホール検出手段と、前記2値化手段またはスルーホール検出手段からの2値画像に対し、線幅や線間隔を測定し設計ルールに定められた基準に違反する位置、断線及び分岐の位置を特徴情報として検出するデザインルール検査手段と、前記2値化手段またはスルーホール検出手段からの2値画像に対し、所定の形状を有する位置を特徴コードとして検出する特定形状検出手段と、良品基板を用いてデザインルール検査手段からの特徴情報を記憶する特徴情報記憶手段と、良品基板を用いて特定形状検出手段からの特徴コードを記憶する特徴コード記憶手段と、前記スルーホール検出手段及びデザインルール検査手段により検出された特徴情報と、前記特徴情報記憶手段からの特徴情報とを比較し真の欠陥のみを検出する第1の比較判定手段と、前記特定形状検出手段により検出された特徴コードと、前記特徴コード記憶手段からの特徴コードとを比較し真の欠陥のみを検出する第2の比較判定手段を備えた配線パターン検査装置。

IPC (5件)：

G01B 11/24 , G01N 21/88 , G06F 15/62 405 , G06F 15/64 , G06F 15/70 455

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-180404
特開平3-252546
特開平4-268444

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