特許

J-GLOBAL ID：200903064466080202

平坦度の測定方法および測定装置

発明者： 橋本 良一 ,  大谷 昌司 ,  稲留 弘師
出願人/特許権者： 花王株式会社
代理人 (1件)： 根本 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315402
公開番号（公開出願番号）：特開平10-141933
出願日： 1996年11月11日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】測定対象面の平坦度を表面状態に拘らず正確に測定できる平坦度の測定方法を提供する。【解決手段】測定対象面11上の複数の測定点において検査光をスポット状に集光し、その集光された検査光の反射光により、各測定点の像を光学系4により結像させる。各測定点の像を設定位置に結像させるための焦点位置調節量に基づき、測定対象面11の各測定点における一定の基準位置からの凹凸量を求める。その求めた基準位置からの凹凸量に基づき測定対象面11の平坦度を演算する。

請求項（抜粋）：

測定対象面上の複数の測定点において検査光をスポット状に集光し、その集光された検査光の反射光により、各測定点の像を光学系により結像させ、各測定点の像を設定位置に結像させるための焦点位置調節量に基づき、測定対象面の各測定点における一定の基準位置からの凹凸量を求め、その求めた基準位置からの凹凸量に基づき測定対象面の平坦度を演算することを特徴とする平坦度の測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 101 ,  G01B 11/26

FI (2件)：

G01B 11/30 101 A ,  G01B 11/26 Z