特許
J-GLOBAL ID：200903064468864677
静電チャック強制離脱方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-129492
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338559
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【構成】 載置面2aに吸着されているウエーハ1の外周部下面に複数の押上部材3...を当接させ、ウエーハ1を押上部材3...により押し上げて載置面2aから離脱させる際に、特定の押上部材3を他の押上部材3...に先立ってウエーハ1に当接させて押し上げる。【効果】 特定の押上部材3により一方の外周部から他方の外周部方向にかけて、ウエーハ1が載置面2aから順に剥離されるため、このウエーハ1の外周部が線状の吸着力に抗して押し上げられる。従って、ウエーハ1全体の反りが減少するため、大きな吸着力が残留していても、ウエーハ1を破損させずに載置面2aから取り外すことが可能になり、ひいては、吸着力が低減するまでの放置時間の短縮により生産性を向上させることが可能になる。
請求項（抜粋）：
静電チャックの載置面に吸着されているウエーハの外周部下面に複数の押上部材を当接させ、ウエーハを押上部材により押し上げて載置面から離脱させる静電チャック強制離脱方法において、特定の押上部材を他の押上部材に先立ってウエーハに当接させて押し上げることを特徴とする静電チャック強制離脱方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H01J 37/317
