特許
J-GLOBAL ID：200903064474564936
エッチング液組成物およびクロム材薄膜のエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-096063
公開番号（公開出願番号）：特開平5-271967
出願日： 1992年03月24日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：
【要約】【構成】 第二セリウム塩と、一般式RfSO3X(式中、Rf は直鎖パーフルオロアルキル基、Xはアルカリ金属原子を表す)で示されるパーフルオロアルキルスルホン酸塩と、水と、必要に応じて過塩素酸、硝酸、硫酸および酢酸からなる群から選ばれる少なくとも1種の酸またはその塩とを含有してなるエッチング液組成物、およびこのエッチング液組成物を使用するクロム材薄膜のエッチング方法である。【効果】 経時安定性を高め、同時に、これまで以上に濡れ性を改善して、電子照射による極微細なレジスト膜の間隙にまで十分に浸透し得るようにする。
請求項（抜粋）：
第二セリウム塩と、一般式RfSO3X(式中、Rfは直鎖パーフルオロアルキル基、Xはアルカリ金属原子を表す)で示されるパーフルオロアルキルスルホン酸塩と、水と、必要に応じて過塩素酸、硝酸、硫酸および酢酸からなる群から選ばれる少なくとも1種の酸またはその塩とを含有してなるエッチング液組成物。
IPC (2件)：
引用特許：
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