特許

J-GLOBAL ID：200903064480262348

振動アクチュエータ

発明者： 岡崎 光宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-241070
公開番号（公開出願番号）：特開平9-093962
出願日： 1995年09月20日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 平面内での1次元又は2次元への移動と、回転とが可能なアクチュエータを構成しようとすると、装置が大型化する。【解決手段】 円環状の弾性体11と、弾性体11に接合され、弾性体11に伸縮振動と屈曲振動とを発生させる電気機械変換素子23と、電気機械変換素子23に接合され、電気機械変換素子23に駆動信号を入力する複数の電極23a〜23dとで振動アクチュエータを構成する。この複数の電極23a〜23dをグループ化して用いることで、弾性体11に第1の方向への駆動、第2の方向への駆動および回転駆動とを行う振動を発生させる。

請求項（抜粋）：

円環状の弾性体と、前記弾性体に接合され、該弾性体に伸縮振動と屈曲振動とを発生させる電気機械変換素子と、前記電気機械素子に接合され、該電気機械変換素子に駆動信号を入力する複数の電極とを有する振動アクチュエータであって、前記複数の電極を、第1の方向への駆動時、第2の方向への駆動時および回転駆動時とに応じてグループ化して使用することを特徴とする振動アクチュエータ。