質量分析計

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-335256
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164169
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】プラズマイオン化質量分析計の測定精度を向上させる。【解決手段】プラズマ10のパラメータを計測器24により計測し、そのデータをもとにイオン源5、イオン光学系17あるいは質量分析器19を制御する。

請求項（抜粋）：

プラズマにより試料をイオン化するプラズマイオン源と、上記プラズマのパラメータを計測するための計測器と、上記プラズマイオン源によりイオン化された試料のイオンを質量分析するための質量分析器とを具備することを特徴とする質量分析計。

IPC (4件)：

H01J 49/10 , G01N 21/73 , G01N 27/62 , H05H 1/00

FI (4件)：

H01J 49/10 , G01N 21/73 , G01N 27/62 G , H05H 1/00 A

Fターム (14件)：

2G043AA01 , 2G043CA03 , 2G043DA05 , 2G043EA08 , 2G043GA11 , 2G043GB05 , 2G043JA01 , 2G043LA07 , 2G043MA06 , 5C038GG09 , 5C038GH02 , 5C038GH15 , 5C038HH02 , 5C038HH26

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