特許

J-GLOBAL ID：200903064495992989

電子ビーム露光装置

発明者： 大饗 義久 ,  阿部 智彦 ,  荒井 総一郎 ,  丸山 繁 ,  安田 洋
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-044468
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254540
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、BAA方式の電子ビーム露光装置に関し、保守性の向上を実現することを目的とする。【構成】 鏡筒31の内部に、多数のプローブが放射状に配されたフローブ装置46と、BAAチップ48が固定されるホルダを移動させるステージ装置47とを有する。鏡筒31の外部に、プローブ装置46と電気的に接続されたビーム・オン/オフ信号発生器52を有する。BAAチップ48は、ステージ装置47によって、パッド134がプローブの針部82aに押し当たった装着位置と、パッド134が針部82aより離れた位置との間で移動されるよう構成する。

請求項（抜粋）：

複数のピクセル及び電極を有するブランキングアパーチャアレイチップを、鏡筒の外部の制御装置と電気的に接続された状態で、該鏡筒の内部に取り付けて使用する電子ビーム露光装置において、上記ブランキングアパーチャアレイチップを、パッド(34)を周囲に沿って配した構成とすると共に、上記鏡筒の内部に、上記制御装置と電気的に接続された、多数のプローブ(82)が多数放射状に配されたプローブ手段(46)と、上記ブランキングアパーチャアレイチップを、上記パッドが上記プローブの先端の針先に押し当たる装着位置(S1 )と、鏡筒の外部へ取り出しを可能とする位置(S1 )との間で移動させる移動手段(47)とを有する構成としたことを特徴とする電子ビーム露光装置。

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特開平2-054855
  
• 特開昭52-092666
  
• 特開平2-037655
  
• 特開昭63-314832
  
• 特開平2-125608