特許
J-GLOBAL ID:200903064500075710
三次元形状測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山田 正紀 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-291770
公開番号(公開出願番号):特開2000-121332
出願日: 1998年10月14日
公開日(公表日): 2000年04月28日
要約:
【要約】【課題】強度変調された光を被測定体に照射し、その被測定体からの反射光に基づいて、被測定体各部までの距離を測定する三次元形状測定装置に関し、コストの低減化が図られた三次元形状測定装置を提供する。【解決手段】 半導体レーザ11から射出された強度変調光を、集光レンズ12を介して投影レンズ13で被測定体20に照射し、その被測定体20からの反射光を、隣接する2つのフォトダイオードの受光信号どうしの差分を求める差分回路を備えた受光部15に結像レンズ14で結像し、受光部15で得られた受光信号を距離分布演算部17に入力して被測定体20各部までの距離分布を求める。
請求項(抜粋):
強度変調された光を射出する光源と、該光源から射出された強度変調光を被測定体に照射するための投影レンズと、複数の光センサが配列されてなる受光面を有する受光部と、被測定体からの反射光を前記受光面に結像させる結像レンズと、前記受光部で得られた受光信号に基づいて被測定体各部までの距離分布を求める距離分布演算部とを備えた三次元形状測定装置において、前記受光部が、隣接する2つの光センサの受光信号どうしの差分を求める差分回路を備えたものであることを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (4件):
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G01S 17/32
, G06T 7/00
FI (4件):
G01B 11/24 C
, G01B 11/00 H
, G01S 17/32
, G06F 15/62 415
Fターム (46件):
2F065AA04
, 2F065AA06
, 2F065AA07
, 2F065AA53
, 2F065DD02
, 2F065FF01
, 2F065FF13
, 2F065GG06
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065NN05
, 2F065NN08
, 2F065PP22
, 2F065QQ02
, 2F065QQ13
, 2F065QQ14
, 2F065QQ31
, 2F065QQ33
, 5B057BA12
, 5B057BA15
, 5B057CH08
, 5B057DA07
, 5B057DB03
, 5B057DC02
, 5B057DC09
, 5B057DC32
, 5J084AA04
, 5J084AA05
, 5J084AA13
, 5J084AA20
, 5J084AD02
, 5J084BA04
, 5J084BA36
, 5J084BA40
, 5J084BB02
, 5J084CA07
, 5J084CA24
, 5J084CA27
, 5J084CA31
, 5J084CA44
, 5J084CA65
, 5J084CA67
, 5J084CA69
, 5J084DA01
, 5J084EA31
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