特許

J-GLOBAL ID：200903064501926349

レーザー照射装置及びレーザー照射方法

発明者： 田中 幸一郎
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-118888
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293267
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】 光学系で線状にビーム加工されたレーザー光における照射エネルギー密度の分布のバラツキを是正する。【解決手段】 レンズの1つ1つが幅Wを有し、縦方向に光をN(n-1)分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群202と、|tan X|=W/(d/(n-1))で定義される概略の角度Xを持ち、光を横方向に(2n+1)分割する役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズ群501と、|tan X|=W/(d/(n-1))で定義される概略の角度Xを持ち前記横方向に分割された光を再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズ502と、前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズ204とを備えた光学系を用いてレーザー光のビーム内エネルギー分布を均一化させる。なお、dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義される。

請求項（抜粋）：

レンズ1つ1つが幅Wを有し、縦方向に光をN(n-1)分割する役割を果たすシリンドリカルレンズ群と、|tan X|=W/(d/(n-1))で定義される概略の角度Xを持ち、光を横方向に(2n+1)分割する役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズ群と、|tan X|=W/(d/(n-1))で定義される概略の角度Xを持ち前記横方向に分割された光を再結合させる役割を果たす平行四辺形状シリンドリカルレンズと、前記縦方向に分割された光を再結合させる役割を果たすシリンドリカルレンズと、を有し、前記dは、前記縦方向に光を分割するシリンドリカルレンズ群を構成するレンズの一つを通過するビームが照射面において形成する干渉縞のピークの間隔として定義されることを特徴とするレーザー照射装置。

IPC (3件)：

G02B 27/09 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 27/00 E ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/30 515 D