特許
J-GLOBAL ID:200903064511463606

弾性表面波素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 富士弥 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-170298
公開番号(公開出願番号):特開平6-013836
出願日: 1992年06月29日
公開日(公表日): 1994年01月21日
要約:
【要約】【目的】 Qの高い小型の実用的な弾性表面波(SAW)素子を提供する。【構成】 水晶基板上に、SAW励振用のIDT(簾状電極)11と、このSAWを位相を揃えて反射する一対の分布形反射器12とを形成して成るSAW素子において、分布形反射器12の反射エレメントをその配置周期を一定に保持したまま、その幅をIDT11の電極エレメント幅よりも大にして、各反射エレメントに質量付加効果をもたせ、反射率の増大を図った。
請求項(抜粋):
圧電基板の略中央部に、複数の電極エレメントが一定周期で互いに交差する簾状電極を形成するとともに、該簾状電極の両側であって弾性表面波の伝搬方向に、夫々複数の反射エレメントが一定周期でライン状に配置された一対の分布形反射器を形成して成り、前記簾状電極で励振された弾性表面波を前記一対の反射器にて位相を揃えて反射する弾性表面波素子において、前記反射器の反射エレメント幅を前記簾状電極の電極エレメント幅よりも大にして、各エレメント幅とその間隔との比が前記簾状電極と前記分布形反射器とで夫々異なるようにしたことを特徴とする弾性表面波素子。

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