特許

J-GLOBAL ID：200903064514835504

エツチング装置

発明者： 岩崎 靖和
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-261951
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102123
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、エッチング液を汚染させることなく、高精度のモニタ結果を得ることのできるエッチング装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明では、液相中の亜硝酸イオンと平衡関係にある気相中のNOx 濃度を測定することによって、エッチング液の特性をモニタするようにしている。

請求項（抜粋）：

弗酸と硝酸を主成分とする混酸を処理液として用いて、洗浄やエッチングなどの湿式処理を行うエッチング装置において、前記処理液の液相中の亜硝酸イオンと平衡関係にある気相中のNOx 濃度を測定する測定手段を具備し、前記NOx 濃度を検出することにより処理液中の亜硝酸イオンの処理液の特性をモニタするようにしたことを特徴とするエッチング装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭47-041375
  
• 特開昭53-113477