特許
J-GLOBAL ID:200903064518345331

液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 原 謙三 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-097720
公開番号(公開出願番号):特開2003-021839
出願日: 2002年03月29日
公開日(公表日): 2003年01月24日
要約:
【要約】【課題】 液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成物を提供する。【解決手段】 一般式(1)で表されるバインダー樹脂、一般式(2)で表されるバインダー樹脂及びこれらの混合物よりなる群から選択されたバインダー樹脂10ないし40重量部と、エチレン不飽和結合を有する多官能性モノマー1ないし20重量部と、光開始剤1ないし10重量部と、エポキシ基を含むシリコン系化合物0.001ないし0.1重量部とを含有することを特徴とする。本発明に係るレジスト組成物は耐熱性に優れるだけでなく、液晶表示素子のカラムスペーサ形成時適切な厚さにパターン形成が可能で、平坦性、解像性、残膜率、パターン安定性が良好である。
請求項(抜粋):
一般式(1)【化1】(前記一般式(1)において、Xは水素原子またはメチル基であり、Y1は炭素原子数2ないし16のアルキル基またはヒドロキシアルキル基であり、Y2は下記化学式(I)ないし化学式(XX)【化2】【化3】【化4】(前記化学式(I)ないし化学式(XX)において、R1は水素またはメチル基、R2は炭素原子数1ないし10のアルキレングループ、R3は炭素原子数1ないし10の炭化水素の残留グループ、R4は水素またはメチル基、R5は炭素原子数1ないし10のアルキレングループであり、kは0ないし10の整数である。)で表される化合物から選択された何れか1つである。)で表されるバインダー樹脂、一般式(2)【化5】(前記一般式(2)において、重合単位Aはベンジルメタアクリレート、スチレン、α-メチルスチレン、イソボニルアクリレート、イソボニルメタアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルメタアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペンタニルメタアクリレート、ジシクロペンタニルエチルオキシアクリレート、ジシクロペンタニルエチルオキシメタアクリレート、ジシクロペンテニルエチルオキシアクリレート、ジシクロペンテニルエチルオキシメタアクリレートよりなる群から選択された何れか1つであり、Bはアクリル酸またはメタアクリル酸であり、Cはグリシジルメタアクリレート、ヒドロキシエチルメタアクリレート、ジメチルアミノメタアクリレート、アクリルアミドよりなる群から選択された何れか1つであり、前記一般式(2)のバインダー樹脂は重合単位A、B及びCの配列順序に拘束されないランダム共重合体である。)で表されるバインダー樹脂、及びこれらの混合物よりなる群から選択されたバインダー樹脂10ないし40重量部と、エチレン不飽和結合を有する多官能性モノマー1ないし20重量部と、光開始剤1ないし10重量部と、エポキシ基を含むシリコン系化合物0.001ないし0.1重量部とを含有することを特徴とする液晶表示素子のカラムスペーサ用レジスト組成物。
IPC (4件):
G02F 1/1339 500 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/075 501
FI (4件):
G02F 1/1339 500 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/075 501
Fターム (30件):
2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA18 ,  2H025AB14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC52 ,  2H025BC53 ,  2H025BC83 ,  2H025BC84 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025BC92 ,  2H025BC93 ,  2H025BD43 ,  2H025CA00 ,  2H025CC06 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H089LA09 ,  2H089MA04X ,  2H089MA05X ,  2H089NA12 ,  2H089QA06 ,  2H089QA12 ,  2H089QA14
引用特許:
出願人引用 (4件)
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