特許

J-GLOBAL ID：200903064523125064

露光照明装置

発明者： 岡 美智雄 ,  菅沼 洋
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-177235
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083764
出願日： 1995年07月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【課題】 スペックルを生じさせず、かつ高い光源利用効率を達成できる露光照明装置は、大型で高価であった。【解決手段】 高調波光発生装置1は第4高調波を出射する。ポリゴンミラー3は走査用レンズ2を介した上記第4高調波を反射し走査する。円筒型反射鏡はポリゴミラー3で反射された第4高調波を図示しない露光用マスク上に円弧状に形成された開口上に走査し照明する。この円弧状の開口を透過した第4高調波は半導体のパターンが載置されたレチクル7に達する。レチクル7上を透過した照明光8は、凹面鏡5と凸面鏡6を介してウェハ9上に投影される。ここで、レチクル7とウェハ9は、走査光学系の走査と同期をとりながら移動するので、露光領域を拡大することができる。

請求項（抜粋）：

光源からの光ビームを露光対象物に導く露光照明装置において、高調波光を連続出射する高調波光発生手段と、上記高調波光発生手段から連続出射された高調波光を走査する走査光学系と、上記走査光学系により走査された高調波光が照射されるパターンと、上記パターンを透過した高調波光の作る像を上記露光対象物に結像する結像光学系とを有することを特徴とする露光照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 527