特許
J-GLOBAL ID:200903064535638415
エッチング性に優れたFe-Ni系シャドウマスク素材ならびに成形性に優れたFe-Ni系シャドウマスク材、およびシャドウマスクの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大場 充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-034778
公開番号(公開出願番号):特開平9-157799
出願日: 1996年02月22日
公開日(公表日): 1997年06月17日
要約:
【要約】【課題】 精度の高いエッチング加工と精度の高いプレス成形が可能なシャドウマスクの製造方法を提供するとともに、シャドウマスク素材を提供する。【解決手段】 Fe-Ni系素材に対して熱間加工を行い板厚の中央部における(111)面が20%以上に調整し、冷間圧延と焼鈍を繰り返してから仕上げ圧延を行ない、板厚の中央部の(200)面が50%以上集合した本発明のエッチング性に優れたFe-Ni系シャドウマスク素材を得、次いでエッチングして電子線通過孔を形成した後、700°C以上の温度で軟化焼鈍を行ない、板厚の中央部の(111)面が20%以上集合し、かつ表層部の(111)面の集合度と板厚の中央部の(111)面の集合度との差が15%以下の組織を有する本発明のプレス成形性に優れたシャドウマスク材を得、次いでこれをプレス成形を行ないシャドウマスクを得る。
請求項(抜粋):
板厚の中央部の(200)面の集合度が50%以上であるFe-Ni系シャドウマスク素材であって、750°Cで15分の加熱処理を行なうと板厚の中央部の(111)面の集合度が20%以上、かつ表層部の(111)面の集合度Sと板厚の中央部の(111)面の集合度Mとの差(S-M)が15%以下となるものであることを特徴とするエッチング性に優れたFe-Ni系シャドウマスク素材。
IPC (7件):
C22C 38/00 302
, C21D 8/02
, C21D 9/46
, C22C 38/08
, C23F 1/00
, H01J 9/14
, H01J 29/07
FI (7件):
C22C 38/00 302 Z
, C21D 8/02 D
, C21D 9/46 P
, C22C 38/08
, C23F 1/00 C
, H01J 9/14 G
, H01J 29/07 Z
引用特許:
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