特許
J-GLOBAL ID：200903064537195448
微粉末の製造方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-022059
公開番号（公開出願番号）：特開平5-184917
出願日： 1992年01月09日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：
【要約】【目的】 超精密鏡面加工等に使用する微粉末の製造方法及びその装置に係わり、更に詳しくは平均直径が1nm〜100μmの任意範囲の一定粒径を有する微粉末を高速且つ連続的に製造可能な微粉末の製造方法及びその装置に関する。【構成】 原料ガスとキャリアガスとを混合した1Torr〜数10気圧の高圧力混合ガスを、高周波電圧を印加した電極ギャップ間に上方より流してプラズマを発生し、該プラズマ領域で原料ガスに基づく反応性に富んだ中性ラジカルからなる反応種を生成し、反応種同士の衝突により平均直径1nm〜100μmの範囲の一定粒径に成長した微粉末を、互いに凝集する前にプラズマ領域直下で水蒸気を付着させた後、水中に分散させて連続回収してなる。
請求項（抜粋）：
原料ガスとキャリアガスとを混合した1Torr〜数10気圧の高圧力混合ガスを、高周波電圧を印加した電極ギャップ間に上方より流してプラズマを発生し、該プラズマ領域で原料ガスに基づく反応性に富んだ中性ラジカルからなる反応種を生成し、反応種同士の衝突により平均直径1nm〜100μmの範囲の一定粒径に成長した微粉末を、互いに凝集する前にプラズマ領域直下で水蒸気を付着させた後、水中に分散させて連続回収してなることを特徴とする微粉末の製造方法。
IPC (2件)：
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