特許

J-GLOBAL ID：200903064550824187

脱水用溶剤

発明者： 山下 泉 ,  村中 文男
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-324186
公開番号（公開出願番号）：特開平6-170108
出願日： 1992年12月03日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：

【要約】【構成】 下記一般式で表されるフッ素化炭化水素を有効成分として含む脱水用溶剤。Cn Hm F2n+1-m-CH=CH2(式中、nは2〜4の整数、mは1〜2の整数である。)【効果】 本発明は、オゾン層破壊能の高いフロン113を使用する水切り用溶剤に代わり得る有用な新規水切り用溶剤として有用である。

請求項（抜粋）：

下記一般式で表されるフッ素化炭化水素を有効成分として含む脱水用溶剤。Cn Hm F2n+1-m-CH=CH2(式中、nは2〜4の整数、mは1〜2の整数である。)

IPC (3件)：

B01D 12/00 ZAB ,  H01L 21/304 ZAB ,  H01L 21/304 351