特許

J-GLOBAL ID：200903064557182741

洗浄装置

発明者： 中田 諭 ,  原 昌輝 ,  根岸 英輔
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-321004
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150442
出願日： 1998年11月11日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】 洗浄室の内部のクリーン度が長期間維持されて、維持管理が容易である簡便な洗浄装置を提供することである。【解決手段】 少なくとも洗浄物を収納する洗浄物収納容器1と、洗浄物を噴射するノズル4と噴射された洗浄物を排気する排気口6とが設けられた洗浄室3とを有する洗浄装置において、洗浄室3に配設されるノズル4と排気口6とを対向して配設するとともに、排気口6に洗浄物により被洗浄物5から除去された汚染物を捕集するフィルタ7を配設したことを特徴とする。洗浄室3の内壁面積に対する排気口6の開口面積は30%以上が望ましく、50%以上であればさらに望ましい。

請求項（抜粋）：

少なくとも、洗浄物を収納する洗浄物収納容器と、前記洗浄物を噴射するノズルと、噴射された前記洗浄物を排気する排気口とが設けられた洗浄室とを有する洗浄装置において、前記洗浄室が、前記ノズルと前記排気口とを対向して配設するとともに、前記排気口に前記洗浄物により被洗浄物から除去された汚染物を捕集するフィルタを配設したことを特徴とする洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 645 ,  H01L 21/304 648

FI (2件)：

H01L 21/304 645 Z ,  H01L 21/304 648 L