特許

J-GLOBAL ID：200903064560573123

静電浮上搬送装置及びその静電浮上用電極

発明者： 樋口 俊郎 ,  ▲靭▼ 巨 ,  金本 学
出願人/特許権者： 財団法人神奈川科学技術アカデミー ,  三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-048175
公開番号（公開出願番号）：特開平7-257751
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【目的】 リード部における電極の損傷がなく、最大吸引力及び浮上剛性を向上させ、的確に浮上体の搬送を行うことができる、信頼性の高い静電浮上搬送装置及びその静電浮上用電極を提供する。【構成】 静電浮上用電極10は、円形状の絶縁基板4上に分離帯11a,11bを挟んで、4等分に配置されている。これらの4つの扇状の電極10a,10b,10c,10dに正電圧と負電圧とが交互に印加される。また、電荷の集中を防ぐために、これらの扇状の電極10a,10b,10c,10dの角部にはRが形成されており、更に、扇状の電極10aの外側面にはリード線12aが、扇状の電極10bの外側面にはリード線(図示なし)が、扇状の電極10cの外側面にはリード線12cが、扇状の電極10dの外側面にはリード線12dがそれぞれ接続されている。

請求項（抜粋）：

静電吸引力を用いた浮上体の静電浮上搬送装置において、(a)正電圧が印加される電極と負電圧が印加される電極とを絶縁基板上に均等に分割して配置するとともに、それらの全ての電極の外側面から導出されるリード線を有する静電浮上用電極と、(b)該静電浮上用電極と対向する浮上体と、(c)前記静電浮上用電極と浮上体とのギャップを検出する変位センサと、(d)前記静電浮上用電極への印加電圧を制御する制御器と、(e)前記静電浮上用電極への電圧の印加により前記浮上体を静電吸引力により吸引して無接触状態で保持して搬送を行い、浮上体が予定された位置に至ると前記静電浮上用電極への電圧の遮断により前記浮上体を前記静電浮上用電極より離脱させることを特徴とする静電浮上搬送装置。

IPC (5件)：

B65G 54/02 ,  B65H 5/00 ,  H01L 21/68 ,  H02N 1/00 ,  H02N 13/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-227453
  
• 特開平2-164288
  
• 静電浮上装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-192596   出願人：セイコー精機株式会社