塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小杉佳男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-263034
公開番号（公開出願番号）：特開平9-106980
出願日： 1995年10月11日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】パーティクルを発生させない塗布膜形成方法を提供する。【解決手段】ウエハ36の表面に薄膜48を形成した後、ウエハ36の回転速度を1000rpmまで下げて、第1のエッジリンス用ノズル40と第2のエッジリンス用ノズル42を用いて、ウエハ36の外周縁から中心方向に3mmまでの周縁部36b,36cに、例えばIPA(イソプロピルアルコール)、エタノール、メタノール、シクロヘキサン等の有機溶剤40a,42aを5秒間吹き付けて、ウエハ36の周縁部の洗浄を行う。その後、ガス用ノズル44からウエハ36の周縁部32dにN2 ガス(又はエアー)44aを吹き付けて、薄膜48の周縁部を平坦化する。

請求項（抜粋）：

ウエハ表面に塗布膜を形成する塗布膜形成装置において、ウエハの表面を上に向けて該ウエハを保持し回転させるウエハ保持台と、該ウエハ保持台に保持されたウエハの表面中心部に塗布液を滴下する滴下ノズルと、前記ウエハ保持台の上方に設置され、該ウエハ保持台に保持されたウエハの表面の周縁部に洗浄液を吹き付けることにより、該表面周縁部に付着している塗布液を除去する第1のエッジリンス用ノズルと、前記ウエハ保持台の下方に設置され、該ウエハ保持台に保持されたウエハの裏面の周縁部に洗浄液を吹き付けることにより、該裏面周縁部に付着している塗布液を除去する第2のエッジリンス用ノズルと、前記ウエハ保持台の上方に設置され、該ウエハ保持台に保持されたウエハの表面の周縁部にガスを吹き付けることにより、ウエハ表面上の塗布液の周縁部を平坦化するガス用ノズルとを備えたことを特徴とする塗布膜形成装置。

IPC (4件)：

H01L 21/31 , B05C 11/08 , B05D 1/40 , H01L 21/316

FI (5件)：

H01L 21/31 A , B05C 11/08 , B05D 1/40 A , H01L 21/316 G , H01L 21/316 P

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