特許
J-GLOBAL ID：200903064575715820
欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-111340
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281049
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】目視によつて検査を行つていたためペリクルフレームの欠陥検査の信頼性が低い問題があつた。【解決手段】光照射手段(11)及び受光手段(11)を移動手段(12)によつて一定の位置関係に保持してペリクルフレーム(2)に対して相対移動させながら、ペリクルフレーム(2)のペリクル(1)が張設される上端面(2H)側又は該上端面(2H)と対向する下端面側からペリクルフレーム(2)に対して光照射手段(11)より光を照射し、ペリクルフレーム(2)に光を照射して得られる反射光を受光手段(11)で受光して、受光手段(11)の出力に基づいてペリクルフレーム(2)の欠陥の有無を判別する。これによりペリクルフレーム(2)の欠陥検査を高精度かつ短時間に行うことができ、かくしてペリクルフレーム(2)の欠陥検査の信頼性を向上し得る欠陥検査装置(10)を実現し得る。
請求項（抜粋）：
マスク又はレチクルを防塵するペリクルが張設されるペリクルフレームの欠陥を検査する欠陥検査装置において、前記ペリクルフレームの前記ペリクルが張設される上端面側又は該上端面と対向する下端面側から前記ペリクルフレームに対して光を照射する光照射手段と、前記ペリクルフレームに前記光を照射して得られる反射光を受光する受光手段と、前記光照射手段及び前記受光手段を一定の位置関係に保持しながら前記ペリクルフレームに対して前記光照射手段及び前記受光手段を相対移動させる移動手段と、前記受光手段の出力に基づいて前記ペリクルフレームの欠陥の有無を判別する欠陥判別手段とを具えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01N 21/88 D
, G01N 21/88 E
, G01N 21/88 J
, G06F 15/62 400
