特許
J-GLOBAL ID：200903064577205896
ハンドリングアーム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-080174
公開番号（公開出願番号）：特開平7-288275
出願日： 1994年04月19日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 非常に簡単な構成の一軸駆動の2リンクアーム方式で、コストダウン並びにメンテナンスの削減が図れ、カセットCを中間位置から左右のローダ室に所要の向きにて適確に搬送でき、搬送能率の向上や、自動化並びに人員の削減や作業員の安全性の確保が図れるハンドリングアームを提供することにある。【構成】 回転駆動部21の一本の駆動軸22で左右に往復回動せしめられる第1リンクアーム23と、この先端部に軸着されカセットCを搭載支持する第2リンクアーム25と、第1リンクアーム23が中間位置から左右いずれかに所定角度回動すると第2リンクアーム25を該第1リンクアーム23に対し逆回りに所定角度回動せしめる連動機構26とを備えて、カセットCを中間位置から互いに開き角度を持って左右対称に並列配置する2つのローダ室に選択的にそれぞれ当該ローダ室の中心線と合致する向きで搬送し得る構成とした。
請求項（抜粋）：
回転駆動部と、この回転駆動部により一軸で往復回動せしめられる第1リンクアームと、この第1リンクアームの先端部に回動可能に軸着され且つ被搬送物を搭載支持する第2リンクアームと、前記第1リンクアームの所定角度往復回動に連動し前記第2リンクアームを該第1リンクアームに対し所要向きに所定角度往復回動せしめる連動機構とを備えて、被搬送物を定位置から他の定位置に所要の向きで搬送し得る構成としたことを特徴とするハンドリングアーム。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 9/00
, B65G 1/00 543
, B65G 49/07
