特許
J-GLOBAL ID:200903064577539077
光学素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松本 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-132892
公開番号(公開出願番号):特開平5-323103
出願日: 1992年05月25日
公開日(公表日): 1993年12月07日
要約:
【要約】【目的】 光学多層膜における水分の蒸発・吸着に起因する光学特性の変動や膜剥離が起こる恐れが少ない高信頼性の光学素子を提供する。【構成】 気相成長法で形成された光学多層膜を備えた光学素子において、前記光学多層膜1では、少なくとも最上層にフッ素化合物3を混在させるようにすることを特徴とする。
請求項(抜粋):
気相成長法で形成された光学多層膜を備えた光学素子において、前記光学多層膜では、少なくとも最上層にフッ素化合物が混在していることを特徴とする光学素子。
IPC (2件):
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