特許

J-GLOBAL ID：200903064578922516

液体用流量センサー

発明者： 高畑 孝行 ,  坂田 賢 ,  小林 与生 ,  山岸 喜代志 ,  薮崎 素弘 ,  井上 眞一
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-074148
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281033
出願日： 1994年10月03日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】 比熱の大きな液体特に水の流量を測定するのに適した液体用流量センサーを提供する。またさらに、熱応答性に優れ、測定精度の高い、小型で、安価な流量センサーを提供する。【解決手段】 発熱体111、発熱体111の上に配置した測温用のサーミスタ膜112、およびこれらを覆うカバー105を備えた傍熱型の液体用流量センサーであり、シリコン製の基板109を具備し、発熱体111およびサーミスタ膜112は基板109上に形成されたものであり、カバー105はこれらが形成された側と反対側の基板109面に接着しているとともにこの接着部分の外側において流量が測定される液体に接する。発熱体111およびサーミスタ膜112は外部へ接続された電極110を有している。

請求項（抜粋）：

発熱体、この発熱体の近傍に配置した測温素子、およびこれらを覆うカバーを備えた傍熱型の液体用流量センサーにおいて、熱伝導率および電気絶縁性が高いシリコン基板を具備し、発熱体および測温素子はこの基板上に形成されたものであり、カバーはこれらが形成された側と反対側の基板面に接着しているとともにこの接着部分の外側において流量が測定される液体に接するものであることを特徴とする液体用流量センサー。

IPC (3件)：

G01F 1/684 ,  G01F 1/692 ,  G01P 5/12

FI (4件)：

G01P 5/12 B ,  G01F 1/68 101 A ,  G01F 1/68 104 A ,  G01F 1/68 104 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-275958
  
• 特開昭50-002967