特許

J-GLOBAL ID：200903064589652979

研磨装置

発明者： クリフォード ロス ,  マイケル クリストフ
出願人/特許権者： オールウェイズ サンシャイン リミテッド
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-284599
公開番号（公開出願番号）：特開2000-127029
出願日： 1999年10月05日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】 剛毛が摩耗等により使用できなくなった場合でも担体を再び使用することができ、また異なる適用のために異なる洗浄用剛毛を使用することが可能な研磨装置を提供することを目的とする。【解決手段】 研磨装置を洗浄するための剛毛担体16は、剛毛20を担持するサブフレーム19が解放可能に取り付けられ得る多数の半径方向スロット18を含む。剛毛担体16は通常の研磨動作中に使用される構成要素担体の代わりに使用され、布付き研磨面を洗浄するために布付き研磨面の上でプラネタリ式に駆動される。摩耗のため剛毛が置換されなくてはならない場合でも、新しい剛毛を有するサブフレーム19によって置換することによって同じ担体16が使用されうる。

請求項（抜粋）：

共通中央軸の回りを相対的に回転するよう配置され、通常は構成要素担体の中の構成要素を研磨するためにその間に該構成要素担体をプラネタリ式に駆動する上方及び下方の研磨円盤と、剛毛担体とを含む研磨装置であって、該剛毛担体は、歯車付き周囲縁及び複数の半径方向スロットを有する担体基部を含み、各該スロットは中央縦軸を有する細長サブフレームを受容するよう配置され、各該サブフレームは離間され概して該縦軸に沿って分布される剛毛を有し、該サブフレームの第1の部分は該剛毛担体の上面に取り付けられ、該サブフレームの第2の部分は該剛毛担体の下面に取り付けられる研磨装置。