特許
J-GLOBAL ID：200903064592724522
微小物分析装置、および該微小物分析装置に用いられる微小物検出手段の調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-172197
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023481
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 試料上の微小物を簡便に短時間で分析する。【解決手段】 微小物分析装置1は、XYステージ3と、光学ユニット4と、走査型電子銃5と、X線検出器6と、二次電子検出器7とが真空容器1a内に収容されて構成されている。光学ユニット4は、少なくとも、レーザ光源(不図示)と光学系(不図示)とを備えたレーザモジュール10と、試料からの散乱光を検出する光検出器12とが本体ステージ11に取り付けられて構成され、真空容器1aに対して着脱自在に設けられている。
請求項（抜粋）：
試料が載置されるステージと、前記ステージに載置された試料上の微小物を光学的に検出するための微小物検出手段と、前記微小物検出手段によって検出された前記微小物を観察するための微小物観察手段と、前記微小物検出手段によって検出された前記微小物の組成を分析するための微小物分析手段とが真空容器内に収容されて構成されている微小物分析装置において、前記微小物検出手段は、少なくとも、スポットサイズが所望の大きさに調整されたレーザビームを前記試料に照射するレーザモジュール部と、レーザビームが照射された前記試料からの散乱光を検出する光検出部と、前記レーザモジュール部および前記光検出部が取り付けられた本体ステージ部とにより構成され、前記真空容器に対して着脱自在に設けられていることを特徴とする微小物分析装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, H01L 21/66
, G01N 23/225
, G01N 37/00
G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
, G01N 23/225
, G01N 37/00 A
