特許

J-GLOBAL ID：200903064593152042

走査型電子顕微鏡

発明者： 羽崎 栄市 ,  高橋 要
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-026444
公開番号（公開出願番号）：特開平9-223477
出願日： 1996年02月14日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】 試料移動ステージの耐振性を向上させて走査型電子顕微鏡の分解能を上げる。【解決手段】 試料6を光軸方向に移動させるz移動部材71と、試料を光軸に対して傾斜させるチルトテーブル82と、試料を光軸と直交するx方向に移動させるxテーブル94と、試料を光軸及び前記x方向の双方に直交するy方向に移動させるyテーブル108と、試料を光軸の回りに回転させるローテーションテーブル122によって試料移動ステージを構成し、各テーブルを各々駆動するアクチュエータ92,103,120,130並びに各テーブルの位置検出手段106,118,132をすべて試料室4内に配置する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを試料移動ステージ上に載置された試料上で走査し、試料から発生する信号を検出して試料像を形成する走査型電子顕微鏡において、前記試料移動ステージは、試料を光軸方向に移動させるzテーブルと、試料を光軸に対して傾斜させるチルトテーブルと、試料を光軸と直交するx方向に移動させるxテーブルと、試料を光軸及び前記x方向の双方に直交するy方向に移動させるyテーブルと、試料を光軸の回りに回転させるローテーションテーブルとからなり、前記各テーブルを各々駆動するアクチュエータ並びに前記各テーブルの位置検出手段がすべて試料室内に配置されていることを特徴とする走査型電子顕微鏡。