特許
J-GLOBAL ID：200903064594050588
超音波式流速・流量計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-337134
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178942
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 超音波式流速・流量測定装置において、本体をなすケーシングをシリコン材料によって形成し、微小流量を測定できる測定装置を低コストで製造できる。【構成】 ケーシング2を下側流路形成部材9と上側流路形成部材10とから構成し、下側流路形成部材9には凹溝11,11,...と発信素子6を形成し、上側流路形成部材10には凸部12,12,...と受信素子7,8を形成すると共に、流入口4,流出口5を形成する。そして、部材9,10を合わせることにより、V字状流路3が形成され、この流路3内を被測流体が流れるときの順方向の伝搬速度と、逆方向の伝搬速度の差から被測流体の流量を検出する。また、シリコンウェハにより多数個製造でき、かつ微小流量の測定ができる。
請求項（抜粋）：
被測流体を測定するための本体をなすケーシングと、該ケーシング内にV字状に折り曲がって形成され、流入口と流出口にそれぞれ連通するV字状流路と、該V字状流路の折曲げ部に設けられ、超音波を発信する発信素子と、前記V字状流路の流入口と流出口に設けられ、該発信素子からの超音波を受信する受信素子とから構成してなる超音波式流速・流量計測装置。
IPC (3件)：
G01P 5/00
, G01F 1/66 101
, G01S 11/14
