特許
J-GLOBAL ID：200903064594570875
半導体試験システム制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井出 直孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-328953
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166890
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】 半導体試験システムにおいて、プロービングカードの測定数の管理の自動化を図る。【構成】 半導体試験装置1と、プロービング装置2と、プロービングカード3とから構成される半導体試験システムにおいて、測定数として測定ウェーハ枚数あるいは測定ペレット数をカウントするカウンタ10と、そのカウント数を記憶するメモリ9と、測定数があらかじめ定められた基準値に達すると、プロービング装置2を停止させアラームを発生させるコントローラ8とを含む制御装置6を備える。
請求項（抜粋）：
ウェーハ上の半導体素子を試験する半導体試験装置と、被測定半導体素子の位置へウェーハを移動させるプロービング装置と、被測定半導体素子と半導体試験装置とを電気的に接続するためのプロービングカードとを備えた半導体試験システムを制御する手段を含む半導体試験システム制御装置において、前記プロービングカードの測定数を計数する計数手段と、前記プロービングカードの測定数を記憶する記憶手段と、前記プロービングカードの測定数があらかじめ定められた基準数に達した時点で、前記プロービング装置の動作を停止させアラームを発生する制御手段とを含むことを特徴とする半導体試験システム制御装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
