特許

J-GLOBAL ID：200903064595806732

気化器、気化器の使用方法および液体原料の気化方法

発明者： 広中 克行 ,  磯辺 千春
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-108977
公開番号（公開出願番号）：特開2001-295050
出願日： 2000年04月11日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 目詰まりや気化された液体原料の組成ずれを解消して精密な組成制御が可能な気化器を提供する。【解決手段】 一端側にキャリアガス供給部11aを設け、他端側にシャワーノズル12を配置した筒状の筐体11と、筐体11内のシャワーノズル12側に充填した多数の粒状体14からなる気化部15と、気化部15へ液体原料を供給するもので気化部15よりキャリアガス供給部11a側に放出端を配置した原料供給ノズル16と、筐体11の外側に設置したヒータ17とを備えた気化器であり、粒状体は直径が0.5mm以上5mm以下の小球からなり、気化部15の厚さは2mm以上50mm以下としたものである。

請求項（抜粋）：

一端側にキャリアガス供給部を設け、他端側に原料ガス排出部を配置した筒状の筐体と、前記筐体内の前記原料ガス排出部側に充填した多数の粒状体からなる気化部と、前記気化部へ液体原料を供給するもので前記気化部より前記キャリアガス供給部側に放出端を配置した原料供給ノズルと、前記筐体の外側に設置したヒータとを備えたことを特徴とする気化器。

IPC (3件)：

C23C 16/448 ,  B01J 7/00 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

C23C 16/448 ,  B01J 7/00 Z ,  H01L 21/31 C

Fターム (32件)：

4G068DA04 ,  4G068DB03 ,  4G068DB04 ,  4G068DD03 ,  4G068DD20 ,  4K030AA11 ,  4K030EA01 ,  4K030KA22 ,  5F045AA04 ,  5F045AA08 ,  5F045AB31 ,  5F045AB32 ,  5F045AC11 ,  5F045AC16 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045AD09 ,  5F045AD10 ,  5F045AE19 ,  5F045AE21 ,  5F045AE23 ,  5F045AF03 ,  5F045AF10 ,  5F045BB04 ,  5F045BB08 ,  5F045BB10 ,  5F045BB16 ,  5F045EB03 ,  5F045EC07 ,  5F045EE02 ,  5F045EF05 ,  5F045HA16