特許
J-GLOBAL ID：200903064602497597
体積の測定方法及びその装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-536667
公開番号（公開出願番号）：特表2001-513260
出願日： 1998年02月05日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：
【要約】基板に材料を分配する分配システムである。1つの実施の形態において、未知の体積を有する基板のキャビティ内に材料が分配される。該分配システムは、ハウジングと、ハウジングに接続され且つ計測された材料の量を分配する分配装置と、ハウジングに接続され且つキャビティの体積を測定し得るように基板のキャビティの上方に配置可能な体積測定プローブとを備えている。本発明の実施の形態において、体積測定プローブは、プローブ及び基板の間に実質的に気密のシールを形成し得る構造及び配置とされた係合縁部を有する凹状部分と、チャンバと、該チャンバ及び凹状部分の間に配置された第一の弁と、凹状部分内の空気圧力を決定し得るように凹状部分に接続された圧力変換器と、空気入口ポートと、空気入口ポート及び凹状部分の間に配置された第二の弁と、空気排出ポートと、チャンバ及び排出ポートの間に配置された第三の弁とを備えている。本発明の1つの実施の形態において、体積測定プローブは分配システムから分配された材料の量を決定する。
請求項（抜粋）：
未知の体積を有する基板のキャビティ内に材料を分配する分配システムにおいて、 ハウジングと、 該ハウジングに接続された分配装置にして、計測された量の材料を分配する分配装置と、 ハウジングに接続され且つキャビティの体積を測定し得るように基板のキャビティの上方に配置可能である体積測定プローブと、 を備える分配システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 Z
, G01F 17/00 B
