圧電振動子ユニット及びそれを用いたインクジェット式記録ヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267123
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094684
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】振動子の変位量を変えずに静電容量を小さくできる圧電振動子ユニットを提供する。【解決手段】共通内部電極32と個別内部電極33とを圧電体31を挟んで交互に積層した積層体34,34により、スペーサ35を挟むように積層して駆動振動子29を構成する。このスペーサ35により振動子を振動子列設方向に貫く開口部23を設け、振動子の一部を中空構造に構成する。さらに、共通内部電極と個別内部電極とが重なり合った重ね合わせ領域を、開口部の開口領域の範囲内に設ける。

請求項（抜粋）：

共通内部電極と個別内部電極とを圧電体を挟んで交互に積層して構成した振動子を櫛歯状に列設し、当該振動子の自由端部を残して固定板を接合し、振動子の自由端部を圧電体の積層方向と直交する振動子長手方向に伸縮可能とした圧電振動子ユニットにおいて、前記振動子を振動子列設方向に貫く開口部を開設して振動子の一部を中空構造にしたことを特徴とする圧電振動子ユニット。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

Fターム (12件)：

2C057AF23 , 2C057AF51 , 2C057AG44 , 2C057AG48 , 2C057AG55 , 2C057AG57 , 2C057AG90 , 2C057AG92 , 2C057AG93 , 2C057AG94 , 2C057BA04 , 2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (5件)

インクジエツト式印字ヘツド
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-256380 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平4-001052
特開平4-347644

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