特許
J-GLOBAL ID:200903064604711294
光記録媒体用スタンパ原盤の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 徳廣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-335357
公開番号(公開出願番号):特開平8-180470
出願日: 1994年12月22日
公開日(公表日): 1996年07月12日
要約:
【要約】【目的】 2P樹脂の硬化時の発熱により発生するオリジナル型と基板の反りを相殺させ、反りを抑え高面精度のレプリカを得ることができる光記録媒体用スタンパ原盤の製造方法を提供する。【構成】 プリフォーマットを有するオリジナル型と平坦な表面を有する基板の間に樹脂を封入し、硬化してレプリカを作製するスタンパ原盤の製造方法において、オリジナル型の熱膨張率をa1 (K-1)、厚みをt1 (mm)、基板の熱膨張率をa1′(K-1)、厚みをt1′(mm)としたとき、【数1】a1 ×t1 =a1′×t1′なる関係が成り立つ光記録媒体用スタンパ原盤の製造方法。
請求項(抜粋):
プリフォーマットを有するオリジナル型と平坦な表面を有する基板の間に樹脂を封入し、硬化してレプリカを作製するスタンパ原盤の製造方法において、オリジナル型の熱膨張率をa1 (K-1)、厚みをt1 (mm)、基板の熱膨張率をa1′(K-1)、厚みをt1′(mm)としたとき、【数1】a1 ×t1 =a1′×t1′なる関係が成り立つことを特徴とする光記録媒体用スタンパ原盤の製造方法。
IPC (3件):
G11B 7/26 501
, B29C 41/12
, B29D 17/00
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