特許
J-GLOBAL ID：200903064605911777
定量汚染標準試料とその作製方法及び作製装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342850
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169810
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 低濃度で、汚染元素が面内に均一に分布している定量汚染標本試料と、この標準試料を再現性良く作製することのできる標準試料作製方法と作製装置を得る。【構成】 試料設置台2に試料(ウェハ)Wを設置して平面XY方向に移動させ、かつその上方に設けた滴下器4から試料Wの表面上に汚染液を一定量ずつ滴下させ、この滴下動作を試料表面の一の領域において多数の箇所に繰り返し行い、かつ一定濃度で一定量の汚染液を試料表面に等間隔で多数の箇所に繰り返し行うことで、試料表面に一定濃度かつ一定量の汚染液の液滴を等間隔で格子状に多点配置した標本試料を作製することが可能となる。
請求項（抜粋）：
試料表面に一定濃度かつ一定量の汚染液の液滴を等間隔で格子状に多点配置したことを特徴とする定量汚染標準試料。
IPC (2件)：
H01L 21/66
, H01L 21/304 341
