特許
J-GLOBAL ID：200903064606658226
半導体加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-060954
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253657
出願日： 1997年03月14日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】薄肉部の過度の変形を保護部材で抑止する際、薄肉部と中央厚肉部との境目部分の破損を防止できる半導体加速度センサを提供する。【解決手段】中央厚肉部14、中央厚肉部14の周囲に形成された薄肉部13、および、薄肉部13の周囲に形成された周辺厚肉部15を有する検出体10と、中央厚肉部14の下面に固定された重錘体22と、周辺厚肉部15の下面に固定された支持体21とを備え、薄肉部13には、該薄肉部13の変形量に応じて電気抵抗が変化する抵抗部11が形成され、周辺厚肉部15の上面には、薄肉部13の過度の変形を抑止する保護部材40が固定されている。保護部材40の下面中央には、突起41が設けられている。薄肉部の過度の変形を抑止する際、薄肉部と中央厚肉部との境目部分は、保護部材40に接触せず、突起41が保護部材40に接触する。
請求項（抜粋）：
中央厚肉部と、該中央厚肉部の周囲に形成され、与えられた加速度に応じて変形する薄肉部と、該薄肉部の周囲に形成された周辺厚肉部とを有する検出体と、前記中央厚肉部の下面に固定された重錘体と、前記周辺厚肉部の下面に固定された支持体とを備え、前記薄肉部には、該薄肉部の変形量に応じて電気抵抗が変化する抵抗部が形成され、前記周辺厚肉部の上面には、前記薄肉部の過度の変形を抑止する保護部材が固定されている半導体加速度センサであって、前記保護部材の下面中央には、一または二以上の突起が設けられ、前記一または二以上の突起は、当該半導体加速度センサを真上から見た場合に、前記中央厚肉部に内接する仮想円よりも内側に配置されていることを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/12
, H01L 29/84 B
