特許
J-GLOBAL ID：200903064607198210
圧力変換器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-041411
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196524
出願日： 1979年09月24日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 チャンバー中の空気圧の変化に敏感に応答し、抵抗のような電気特性の変化を起こす圧力変換装置を提供する。【構成】 ダイヤフラム424に対して加えられた圧力が増加すると、折り曲げられた基体414の上部418の感圧半導体層で被覆されたパドが下部416に形成されたパドと電気的に導通状態になりパド間の電圧降下は小さくなる。圧力が取り除かれるとダイヤフラム424の弾性のために上部が下部から離れる。
請求項（抜粋）：
底面と側面を有するチャンバーを形成するハウジングと、チャンバーの底面に隣接して配置された第1の導体と、前記底面に平行な上面及び下面とヒンジ部を有するフラップと、フラップの下面上に配置された第2の導体と、第1と第2の導体の少くとも一方を覆うため配置された感圧半導体層と、チャンバーを閉じるためにチャンバーの底面に離隔してハウジングに取り付けられたダイヤフラムとからなり、前記フラップはヒンジ部の回りで可動であり、前記ダイヤフラムはハウジングから離れた中央部でフラップの上面に接着され、第2の導体はダイヤフラムに加えられる圧力の変化に応答して第1の導体と電気的導通関係になるためにフラップと共に可動であることを特徴とする圧力変換器。
IPC (4件)：
G01L 9/00
, G10H 1/053
, G10H 1/34
, H01L 29/84
